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高密度互连成大势所趋增层法与微孔制程技术探讨
新闻出处: 发布时间: 2007-11-05

随着生产技术的不断演进,电子产品无不趋向轻薄短小的方向发展,今天各种包括移动电
话、数码摄录机等微型手提式电子产品都是高密度互连(High Density Interconnect,HDI)技
术发展下的应用市场。

高密度互连是目前最新的线路板制程技术,通过微孔道的形成,线路板层与层之间能互相连接,而这种高密度互连制程,再配合增层法技术的采用,从而使线路板能实现朝薄和小的方向发展。

所谓增层法,是以双面或四面电路板为基础,采纳逐次压合(Sequential Lamination)的观念,于其板外逐次增加线路层,并以非机械钻孔式之盲孔做为增层间的互连,而在部分层次间连通的盲孔(Blind Hole)与埋孔(Buried Hole),可省下通孔在板面上的占用空间,有限的外层面积尽量用以布线和焊接零件,这就是成为现时最受注目的多层线路板制程技术――-增层法。

配合增层法技术而采用的微孔技术,可造成高密度互连结构的超薄多层线路板,而此种微孔制程技术目前大体可分为三类:一、感光成孔式导孔技术(Photovia)二、乾式电浆蚀孔技术(Plasma Etching)与三激光钻孔技术(Laser Ablation)。

其中激光钻孔技术,是近来全球高密度互连线路板业界最关注的技术发展之一,大体上激光钻孔技术又可分为三类:即二氧化碳激光钻孔(CO2)、Nd:YAG激光钻孔技术和准分子激光钻孔技术(Excimer/Excited Dimer)。

二氧化碳激光钻孔是利用CO2及掺杂N2、He、CO等气体,在增层法中功率和维持放电时间下,产生激光,目前线路板业内用于钻孔的有RF Excited CO2质而共同产生的雷射激光。此种雷射激光由于能量极强,所以可以直接身窗铜箔而形成导孔。

除此,准分子激光钻孔技术则是由卤化物、二聚物及氧化物等稀有气态化合物激发而产生的激光,此种激光的功率较高,能对有机树脂进行修整、轻蚀等工作,但激光激发范围很大,且不易集中,用以钻孔,则相对较其他激光钻孔的方法,在效率上并不太高。


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